“近紅外大口徑相移平面干涉儀”是一臺光、機、電、算相結合，融硬、軟件于一體的高精度、智能化、多功能、實時處理的大型測試儀器。

光機型干涉儀采用菲索型，光源為可調節近紅外激光器。干涉圖由近紅外CCD接收，在監視器上實時顯示，同時輸入到圖像捕獲器轉化成8bit的數字干涉圖，工計算機處理。

儀器配有下列軟件包：（一）相移干涉技術復原波面軟件包，（二）Zernike多項式分析軟件包，（三）波面分析與評價軟件，（四）繪圖和列表輸出軟件包。還配有數字濾波分析（低通、帶通、高通）、PSD等特性參數計算、Seidel像差分析功能軟件包。

儀器規格參數表：