相移干涉測量軟件PhaseSight是新一代64位集成軟件包,可以配合多種相移干涉儀使用,現支持傳統的PZT移相、波長調諧移相、偏振同步移相與垂直掃描干涉法(VSI)四種模式。
軟件的主要功能是操控設備的硬件,采集多幅干涉圖,進行相位復原、解包和數值指標提取等一系列算法工作,可以快速復原波前并給出特定的測量結果。
軟件現支持相機多種分辨率,有1K,2K,4K等。
軟件具備以下分析功能:Zernike多項式系數(4項、9項、16項、25項與36項)、峰谷值(PV)、標準偏差(RMS)、Seidel系數、不規則度、功率譜密度(PSD)、光學傳遞函數(MTF)、斜率誤差(Slope Error)、平行差及楔角測量(Angle Measurement)等;