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                                  朗奇(Ronchi)檢驗法

                                  一、簡介


                                  朗奇檢驗法是評價和測量一個光學系統像差的最簡單、最有效的方法之一。該方法的步驟是將低頻衍射光柵(小于50線對/mm)置于被檢驗透鏡焦點附近,由產生的不同衍射級次之間的干涉條紋形狀來評定透鏡的質量。朗奇檢驗的特點是簡單,快速,成本低,不受被檢驗元件口徑限制。光學界將這種光柵檢驗方法命名為“朗奇檢驗”,這種光柵成為“朗奇光柵”,所得到的檢驗圖形稱為“朗奇圖形”。以下介紹其幾何原理。


                                  二、幾何原理


                                  朗奇檢驗法實際上是直接測量橫向像差TA的方法,如圖1所示。其何原理是把條紋看做是光柵的陰影。被檢光學系統出射光瞳上的波像差為:


                                   

                                  將上式改為通用形式,可得:


                                  式中,r為出射光瞳或者被測試的表面到朗奇光柵的距離。

                                  如果光柵的離焦量比較小,則該距離可以近似地表示為波前的曲率半徑。因此,假定一個朗奇光柵的刻線間距為d,則通??梢允剑?/span>3)表示第m個條紋的點(x,y):


                                  其中,假定朗奇光柵刻線與y軸之間的夾角為φ,如圖2示。


                                  1 朗奇檢驗法


                                  2 波前和光柵刻線的方向關系


                                  三、初級像差的朗奇圖


                                  1.離焦:


                                  3 帶離焦的朗奇圖樣:a)點外部,b)焦點上,c)焦點內部

                                  2.球差:


                                  4 帶球差的朗奇圖 a)近軸焦點 b)近軸和邊緣焦點之間

                                        c)邊緣焦點 d)焦點之外

                                  3.彗差:


                                  5 具有彗差的朗奇圖

                                   

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