該儀器調整方便,特別適用于小平面、球面在線快速檢測
主要特點:
1.調整架XY軸調節范圍10mm(+/-5mm)Z軸調節范圍130mm
2.平面參考面形精度:λ/20
3.球面參考面形精度:λ/10 λ/20
儀器規格參數表:
光源
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半導體激光器 波長λ=635nm(激光器保修1.5年)
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類型
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菲索型干涉儀
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有效光束直徑
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φ=25mm
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顯示
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15寸液晶監視器
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選配鏡頭
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F/# 0.6、0.7、1.0、1.5、2.0、3.0、5.0、平面鏡
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尺寸
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260×160×300mm
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重量
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6.5Kg
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電源
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220V 55Hz
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可選附件
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在線式數字條紋分析系統、隔振臺
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