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光學檢測儀和激光干涉儀
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Bysco 100臥式激光干涉儀適用于高精度計量檢測、超大口徑干涉儀的小端口主機等應用場合，可對平晶、透鏡面形精度、均勻度和平行度的測量以及激光棒的測量。
儀器規格參數表：
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類型 |
菲索型干涉儀 |
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光源 |
氦氖激光器λ=632.8nm/波長調諧激光器 |
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測量口徑 |
φ=100mm |
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移相方式 |
標配PZT移相、可選波長調諧、偏振移相 |
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相機分辨率 |
1K、2K、4K可選 |
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灰度等級 |
8Bit、12Bit |
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測量精度 |
平面PV優于λ/20，球面PV優于λ/15 |
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RMS重復性 |
<λ/5000 |
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有效顯示倍率 |
1-6倍 |
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可選附件 |
移相式數據分析處理軟件、光學氣浮平臺、五維調節架及三爪、標準鏡頭 |
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